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我国重大科研装备造出世界最大面积中阶梯光

发布时间:2021-06-17 13:07:55 阅读: 来源:底阀厂家
我国重大科研装备造出世界最大面积中阶梯光

我国重大科研装备造出世界最大面积中阶梯光栅

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从中科院长春光机所获悉:由该所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”通过验收,并制造出世界最大面积中阶梯光栅。这标志着我国大面积高精度光栅制造并方便查询、输出、打印中的相关技术达到国际领先水平,结束了在高精度大尺寸光栅制造领域受制于人的局面。

衍射光栅是一种纳米精度周期性微结构的精密光学元件,在光谱学、天文学、激光器、光通讯、信息存储等领域中有重要应用。光栅面积大可获得高集光率和分辨本领,精度高可获得更好的信噪比,但制造出大而精的光栅是世界性难题。

光栅刻划机是制作光栅的母机,因其部件的加工装调精度难,运行保障环境要求高,被誉为“精密机械之王”,本项目研制的光栅刻划机,几乎所有关键部件都冲击世界极限水平。研制期间,科研人员突破了精密机械加工、精密光学加工、精密检测、高精度微位需适当减少断点比率值移控制等一系列关键技术,并研制出面积达400毫米×500毫米、精度为10纳米的光栅,这也是目前世界上面积最大的中阶梯光栅。

此前,只有美国能够制作300毫米以上中阶梯光栅,我国的中阶梯光栅制造能力不足300毫米,精度也达不到10纳米精度水平,战略高技术领域所需要的高精度大尺寸光栅受到国外严格限制。项目负责人、中科院长春光机所研究员唐玉国表示,大型高精度光栅刻划系统以及大面积中阶梯光栅的研制成功,能帮助我国光谱仪器行业摆脱“有器无心”局面,改变我国光谱仪器产业处于行业低端现状。

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